具有台阶状结构和真空腔体的微热板及其加工方法

具有台阶状结构和真空腔体的微热板

现有技术中的微热板的悬空结构稳定性差，由于敏感膜应力控制不好容易变形破裂，导致器件失效；隔热效果差。

提供一种具有台阶状结构和真空腔体的微热板及其加工方法，通过在单晶硅衬底等基片上设置台阶状结构层，并使加热层、钝化层等覆盖在台阶状结构层上，从而形成具有台阶状的薄膜结构，进而利用该具有台阶状的薄膜结构呈现出的类似弹簧的特性在器件中形成低真空状态的真空腔体，设置多个隔热层。

稳定性搞，能够防止绝缘层、加热层、钝化层等因为应力过大发生破裂，有效避免器件在温度急剧变化时出现绝缘层、加热层、钝化层变形翘曲等问题，隔热效果好。